工艺研发工程师

1、负责ALD薄膜工艺的预研、开发与优化，包括工艺窗口表征、薄膜均匀性、厚度、组分、缺陷率等关键参数的控制。 2、设计并执行DOE实验，进行薄膜表征与数据分析，撰写技术报告。 3、与设备研发团队协作，基于工艺需求推动设备硬件优化与改进。 4、负责从研发到量产的工艺转移，建立工艺控制框架（SPC、控制计划、异常处理机制）。 5、跟踪ALD前沿技术（Spatial ALD、PEALD、T-ALD、新型前驱体等），推动工艺创新。